設備概要 - 改修 - [リワーク機①] RD-200PC ■メーカー : DEN-ON ■対応基板寸法 : L500×W430mm(MAX) ■対応デバイス : 50mm×50mm ■稼働範囲 : 固定式 ■加熱部基板温度 : 230°~240° MAX [リワーク機②] RD-500Ⅱ ■メーカー : DEN-ON ■最大基板サイズ : 500mm×600 (MAX) ■最小デバイスサイズ : 2mm×2mm ■最大デバイスサイズ : 50×50mm ■配置精度 : ±0.025mm [3次元X線検査機] SMX-1000Plus ■メーカー : 島津製作所 ■搭載可能サイズ : 350×400mm(Max) ■検査ストローク : 300×350mm(Max) ■積載可能重量 : 5kg ■受光部斜動 : ±0.03mm以下 [恒温槽①] DN600 ■メーカー : yamato ■使用温度範囲 : 40~210℃ ■温度調節精度 : ±0.5℃(at210℃) ■温度分布精度 : ±0.5℃(at210℃) ■最高温度到達時間 : 約75分 [恒温槽②] DKN400 ■メーカー : yamato ■使用温度範囲 : 40~210℃ ■温度調節精度 : ±0.5℃(at210℃) ■温度分布精度 : ±0.5℃(at210℃) ■最高温度到達時間 : 約75分